真空管的发展历程
2、膜系:目前的膜系主要有两种,单靶渐变膜和单、双、三靶干涉膜。前者溅射系统构造简单,靶材料利用率高,但集热效率低;后者集热效率高,但溅射系统构造复杂,靶材料利用率低。
多数厂家考虑到利润问题,也苦于掌握不了先进的干涉镀膜技术,(况且干涉镀膜工艺复杂,工艺控制要求非常严格。)因此只能采用成本低、但集热效率也低的单靶渐变技术。(单靶指铝靶,双靶指铝靶和铜靶,三靶指铝靶、铜靶和不锈钢靶。)
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